1、薄膜在线测厚仪是一款由探测系统、人机交互设备、电脑实时监控系统这三部分组成
2、首先是探测系统，仪器的探测系统是由光源探头，接收探头，控制器和铝支架组成 。
3、仪器的光源是可以定制不同波长的，可定制的波长有红外850nm，950nm，绿光530nm，白光380-760nm和紫外365mn，仪器默认测量波长是红外850nm，并且仪器最多可定制45个测试点。
4、然后是人机界面，仪器的人机界面是一个7寸LCD人机交互界面，并实施显示各个测试点的透过率和光密度数据。
5、最后是 电脑实时监控系统，这是用来氇监煜紊记录数据并分析，还能生成报表的一个软件。在电脑实时监控系统里中还可以设置测量的上限值和下限值，如果在检测过程中，测量出的数据高于或低于限值仪器的警报灯就会报警，提醒技术人员或通讯设备及时发现问题并更改工艺。
