白光干涉仪怎样计算凹槽深度

1、在X或Y Profile曲线上将R, M拉至同一水平面。

2、右键单击网格，选择Date Leveling。

3、选择Two Point Linear Fit，电机Caculate对平面进行拉平。

4、再移动R和M光标至特征凹槽处进行测量，读取数值。