1、激光器系统： 激光波长：1064nm(Nd:YAG) 激光平均功率：8W@10KHZ(TEM00) 激光频率：0.5K-50K 脉冲宽度：40ns 光束质量：M2<1.3 对焦方式：自动，计算机程序控制
2、XY分步重复系统： 其运动方式：直线电机运动系统，利用直线电机电磁驱动，配备光栅尺位子反馈，实现高速度、高精度运动。
3、光束定位系统： 描范围在60mmX60mm，运动分辨率在0.76µm，重复定位精度精确到2.5µm，可编程定位或图像识别自动定位，为提高光束定位效果，多采用高质量放射镜片，减少对激光加工质量的影响。
4、分步重复运动系统： 运动方式：空气悬浮运动，无摩擦力 运动范围：290mm*260mm 重复定位精度：±1µm 运动速度(空载)：900mm/s
5、矩阵测量系统： 电阻测量方式：四线制测量或二线制测量 测阻范围和精度都有很严格的要求，速度在25µs，零点及满城误差矫正需自动化。
6、软件系统： 软件编程需具备强大的自适应功能，可适应各种电阻的调整及电子模块的功能，提高自动化运行。强大的数据库存储能力，令操作流程可追踪。设置锁定功能，不合格品自动变色提示，减少废品产生。
